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涂胶显影机的加热装置

  涂胶显影机加热位置都是贴在热板上,透过热传导的方法对晶圆进行加热,每个热板同时只有一个加热温度 。若遇到温度改变也即晶圆需要经过差别的工艺温度的处理时,就会需要时间来做温度的切换,如果遇到温度落差比较大的时候,升降温的历程中晶圆将会停止传送,这会严重的影响到生产速率 。
  晶圆在加热时安排在所述顶针的顶部,所述热板提供加热源,从所述热板的外貌往上的空间规模内在抽气气流的作用下温度逐渐降低,通过所述步进马达控制所述顶针顶部的位置来设定所述晶圆所处的空间位置并进而设置所述晶圆的工艺温度 。
  进一步的革新是,所述顶针的根数为至少3根 。
  进一步的革新是,所述晶圆的工艺温度包括多个 。
  进一步的革新是,所述热板的外貌的温度最高,所述晶圆的工艺温度小于即是所述热板的外貌温度 。
  进一步的革新是,所述晶圆位于所述热板外貌时,所述热板通过热传导方法、对流和辐射的方法对所述晶圆加热 。
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