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涂胶显影设备是干什么活的

国产涂胶显影设备是干什么活的?简单的说就是把光刻胶均匀撒在硅片外貌,然后烤一烤生成超薄胶膜;在光刻机完成曝光后,再进行图形的显影,所以要与光刻机设备联机作业。

作为光刻机的输入(曝光前光刻胶涂覆)和输出(曝光后图形的显影),涂胶/显影机的性能不但直接影响到细微曝光图案的形成,其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸如蚀刻、离子注入等诸多工艺中图形转移的结果也有深刻影响。

荷兰EUV光刻机一直拖延供货,国产光刻机等设备大力研发中,相信我们的中国科技精英一定会不负众望逐一突破西方的封闭。

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