欧洲杯买足球软件

效劳热线
全国客服热线:

024-83186298

公司新闻

微波等离子去胶机原理及工业应用

  等离子体干法去胶事情原理及应用
 
  1) 等离子去胶反应机理:
  在干法等离子去胶工艺中,氧是主要腐化气体。它在真空等离子去胶机反应室中受高频及微波能量作用,电离爆发氧离子、游离态氧原子 O*、氧分子和电子等混淆的等离子体,其中具有强氧化能力的游离态氧原子 (约占 10-20%)在高频电压作用下与光刻胶膜反应: O2→O*+ O*, CxHy + O*→CO2↑+ H2O↑。反应后生成的 CO2 和 H2O,随即被抽走。
  2) 等离子去胶操作要领:
  将待去胶片插入石英舟并平行气流偏向,推入真空室两电极间,抽真空到 1.3Pa,通入适量氧气,坚持反应室压力在 1.3-13Pa,加高频功率,在电极间爆发淡紫色辉光放电,通过调理功率、流量等工艺参数,可得差别去胶速率,当胶膜去净时,辉光消失。
  3)等离子去胶影响因素:
  频率选择:频率越高,氧越易电离形成等离子体。频率太高,以至电子振幅比其平均自由程还短,则电子与气体分子碰撞几率反而减少,使电离率降低。一般常用频率为 13.56MHz及2.45GHZ 。
  功率影响:关于一定量的气体,功率大,等离子体中的的活性粒子密度也大,去胶速度也快;但当功率增大到一定值,反应所能消耗的活性离子抵达饱和,功率再大,去胶速度则无明显增加。由于功率大,基片温度高,所以应凭据工艺需要调理功率。
  真空度的选择:适当提高真空度,可使电子运动的平均自由程变大,因而从电场获得的能量就大,有利电离。另外当氧气流量一准时,真空度越高,则氧的相比照例就大,爆发的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高,活性粒子浓度反而会减小。
  氧气流量的影响:氧气流量大,活性粒子密度大,去胶速率加速;但流量太大,则离子的复合几率增大,电子运动的平均自由程缩短,电离强度反而下降。若反应室压力稳定,流量增大,则被抽出的气体量也增加,其中尚没加入反应的活性粒子抽出量也随之增加, 因此流量增加对去胶速率的影响也就不甚明显。

联系欧洲杯买足球软件

联系人:魏经理

手 机:13940431475

邮 箱:sale@tdsemi.com.cn

公 司:欧洲杯买足球软件

地 址:沈阳市苏家屯区桂竹香街68号智能制造工业园E3

涂胶显影设备技术效劳热线

网站地图网站地图
友情链接:欧洲杯竞彩平台推荐  欧洲杯投注网  欧洲杯下注平台  欧洲杯投注网  欧洲杯正规下单平台  欧洲杯投注网  欧洲杯竞猜手机app  欧洲杯球赛在哪里买  欧洲杯投注网  欧洲杯竞彩平台推荐  欧洲杯比赛投注  欧洲杯可以买球的  欧洲杯竞猜手机app  欧洲杯外围竞猜  欧洲杯下注平台  欧洲杯足球购买渠道在哪  欧洲杯竞彩平台推荐  欧洲杯竞彩平台推荐  欧洲杯官方买球  欧洲杯竞猜手机app